滑動快冷管式爐的簡介
滑動快冷管式爐，也叫做滑道管式爐、滑軌式管式爐、RTP快速退火爐(RTP紅外燈管加熱管式爐)、爐膛可移動式管式爐，它是一種新型的加熱電爐設備，可在真空、氣氛環境下，對樣品進行快速熱處理，主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
滑動快冷管式爐采用滑動快冷技術，具有快速冷卻的特點，能夠在高溫實驗過程中快速冷卻樣品，為實驗提供更加準確的實驗數據和更好的實驗效果。
滑道管式爐
RTP紅外燈管加熱管式爐一款精巧型快速熱處理管式爐，配有石英腔體和真空法蘭，采用紅外燈管加熱，升溫速度可達50℃/秒，30段可編程序，PID自動控制，它是專為半導體或太陽能電池基片的退火而設計。
滑動快冷管式爐的組成結構
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
(1).雙層鋼結構，帶冷卻風扇。
(2).爐底裝有一對滑軌，可以手動左右移動爐子。
(3).安裝真空法蘭和機械壓力表，可立即使用。
滑動快冷管式爐主要由以下幾個部分組成：
爐管：
爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料，具有高強度、耐高溫、耐腐蝕等特點，能夠承受高溫和高壓。
滑動快熱、快冷系統：
為取得最快加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s，是低成本快速熱處理的爐子。
抽真空系統：
包括真空泵和真空測量系統，用于抽真空和保持高真空度。
控制系統：
可選擇單設定點或30段可編程控制器。精度為 ±1°C°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。節能型的陶瓷纖維材料和雙層結構，可將外表溫度降到常溫。均溫區長，操作簡便，密封可靠，綜合性能指標較高;
滑動快冷管式爐的應用領域
退火爐是一款精巧型快速熱處理管式爐， 是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設備，它是專為半導體或太陽能電池基片的退火而設計，采用紅外燈管加熱，最快升溫速度為 50°C/秒.。
可在真空不同氣氛空氣不同環境下，對樣品進行快速熱處理，主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
滑動管式爐技術參數
根據不同客戶的現場實驗條件，博納熱專業技術人員可為您量身定制不同參數和爐型!
