滑動快冷管式爐的簡介

滑動快冷管式爐，也叫做滑道管式爐、滑軌式管式爐、RTP快速退火爐(RTP紅外燈管加熱管式爐)、爐膛可移動式管式爐，它是一種新型的加熱電爐設(shè)備，可在真空、氣氛環(huán)境下，對樣品進行快速熱處理，主要應(yīng)用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。

滑動快冷管式爐采用滑動快冷技術(shù)，具有快速冷卻的特點，能夠在高溫實驗過程中快速冷卻樣品，為實驗提供更加準確的實驗數(shù)據(jù)和更好的實驗效果。

滑道管式爐

RTP紅外燈管加熱管式爐一款精巧型快速熱處理管式爐，配有石英腔體和真空法蘭，采用紅外燈管加熱，升溫速度可達50℃/秒，30段可編程序，PID自動控制，它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片的退火而設(shè)計。

滑動快冷管式爐的組成結(jié)構(gòu)

可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。

(1).雙層鋼結(jié)構(gòu)，帶冷卻風(fēng)扇。

(2).爐底裝有一對滑軌，可以手動左右移動爐子。

(3).安裝真空法蘭和機械壓力表，可立即使用。

滑動快冷管式爐主要由以下幾個部分組成：

爐管：

爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料，具有高強度、耐高溫、耐腐蝕等特點，能夠承受高溫和高壓。

滑動快熱、快冷系統(tǒng)：

為取得最快加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s，是低成本快速熱處理的爐子。

抽真空系統(tǒng)：

包括真空泵和真空測量系統(tǒng)，用于抽真空和保持高真空度。

控制系統(tǒng)：

可選擇單設(shè)定點或30段可編程控制器。精度為 ±1°C°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu)，可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長，操作簡便，密封可靠，綜合性能指標較高;

滑動快冷管式爐的應(yīng)用領(lǐng)域

退火爐是一款精巧型快速熱處理管式爐， 是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備，它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片的退火而設(shè)計，采用紅外燈管加熱，最快升溫速度為 50°C/秒.。

可在真空不同氣氛空氣不同環(huán)境下，對樣品進行快速熱處理，主要應(yīng)用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。